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用兩點(diǎn)概述AWG器件為什么需要用到超聲波清洗機(jī)清洗：

1、用于光信號(hào)的合波與分波，其內(nèi)部的光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)非常精細(xì)，生產(chǎn)中的任何微小污染都可能導(dǎo)致性能下降。

2、AWG器件在晶圓切割和端面研磨后，會(huì)產(chǎn)生大量碎屑和污染物，必須使用超聲波進(jìn)行深度清洗，以保證光信號(hào)傳輸?shù)馁|(zhì)量。

威固特VGT-709FHA超聲波清洗機(jī)的核心配置，能夠很好地匹配AWG器件生產(chǎn)中對(duì)高潔凈度、低損傷清洗的嚴(yán)格要求。因本設(shè)備清洗頻率和工藝設(shè)計(jì)，恰好解決了AWG這類高精密光器件的清洗難點(diǎn)。

一、多工序協(xié)同的光學(xué)級(jí)潔凈區(qū)：

1.預(yù)清洗工序：當(dāng)裝載著AWG芯片的治具進(jìn)入設(shè)備后，首先會(huì)經(jīng)過(guò)一道噴淋沖洗。這道工序利用水流力量沖刷掉器件表面大部分的研磨碎屑和灰塵，主要是為了避免這些粗顆粒物直接進(jìn)入超聲波清洗槽，造成交叉污染或劃傷。

2.超聲波分級(jí)主清洗：這是潔凈工藝中最關(guān)鍵的一步

第一階段：設(shè)備開(kāi)啟低頻（約40KHZ）超聲波，產(chǎn)生的“強(qiáng)力”空化泡負(fù)責(zé)松動(dòng)和剝落AWG表面附著力較強(qiáng)的污染物。

第二階段：緊隨其后開(kāi)啟中高頻（約80KHz），更微小的空化泡能夠進(jìn)入AWG芯片的V型槽、毛細(xì)管等精細(xì)結(jié)構(gòu)，進(jìn)行更深入的清潔。

第三階段：當(dāng)AWG進(jìn)入最后幾個(gè)功能槽時(shí)，設(shè)備將切換至最高頻（約120KHz），進(jìn)行“拋光級(jí)”的精洗。此時(shí)，極致均勻、微小的空化泡在AWG的光學(xué)表面輕柔爆裂，將亞微米級(jí)的、看不見(jiàn)的顆粒徹底帶走，同時(shí)確保不損傷其脆弱的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。

3、純水閉環(huán)漂洗與干燥：在經(jīng)歷超聲波清洗后，AWG會(huì)進(jìn)入純水漂洗槽。這里使用的是高純度的去離子水（純水），能夠溶解和帶走殘留的清洗劑。同時(shí)，循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)也在持續(xù)工作，確保整個(gè)過(guò)程中使用的清洗液和純水都保持在極高的潔凈度，形成一個(gè)“活水”清洗閉環(huán)。

二、工藝門(mén)檻解決AWG核心痛點(diǎn)：

以上這套精密分級(jí)清洗流程，可以解決以下幾個(gè)在AWG生產(chǎn)中的實(shí)際工藝痛點(diǎn)：

消除對(duì)光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)損傷的擔(dān)憂：對(duì)于AWG這類器件，最忌諱的就是低頻、高能量的超聲波在清洗過(guò)程中造成肉眼不可見(jiàn)的空蝕損傷，這會(huì)直接導(dǎo)致光損耗增大，甚至器件報(bào)廢。威固特VGT-709FHA超聲波清洗機(jī)的高頻清洗（80KHZ/120KHZ）正是解決方案的關(guān)鍵。它的清洗力柔和且精細(xì)，能有效避免這種損傷，保障良率。

去除微觀且附著的顆粒：AWG芯片在經(jīng)過(guò)切割、研磨等工序后，其端面和波導(dǎo)槽內(nèi)會(huì)附著大量肉眼難以看到的微小玻璃碎屑和研磨液殘留。這些顆粒尺寸通常在亞微米級(jí)，常規(guī)清洗難以撼動(dòng)。威固特VGT-709FHA超聲波清洗機(jī)的分級(jí)清洗策略，通過(guò)逐步提升頻率，用越來(lái)越精細(xì)的“力道”將其溫和卻有效地剝離。

實(shí)現(xiàn)全局低殘留的“清潔”狀態(tài)：經(jīng)過(guò)多頻段超聲清洗后，再配合高純度純水進(jìn)行循環(huán)漂洗，能夠最大程度地降低任何化學(xué)清洗劑的殘留。這對(duì)于確保AWG器件的長(zhǎng)期可靠性和光學(xué)性能一致性至關(guān)重要。

三、整機(jī)布局：七工位環(huán)形自動(dòng)化生產(chǎn)線

設(shè)備的物理核心是七個(gè)獨(dú)立且協(xié)同工作的功能槽，它們由一個(gè)自動(dòng)智能式機(jī)械手系統(tǒng)串聯(lián)成一條自動(dòng)化生產(chǎn)線。這種結(jié)構(gòu)布局確保了每個(gè)AWG工件都能遵循同一套標(biāo)準(zhǔn)化的、無(wú)塵的“光學(xué)級(jí)”清洗工藝，減少了因人工操作導(dǎo)致的不確定性。

威固特VGT-709FHA超聲波清洗機(jī)清洗AWG器件的工藝流程高度自動(dòng)化：

機(jī)械手將器件依次送入七個(gè)功能槽，首先經(jīng)水幕式噴淋預(yù)洗去除大顆粒污物，隨后在40KHz超聲槽中完成主清洗，接著依次進(jìn)入80KHz和120KHz高頻槽進(jìn)行精細(xì)漂洗，通過(guò)頻率從低到高的分級(jí)剝離實(shí)現(xiàn)無(wú)損拋光級(jí)潔凈，全程配合純水逆流循環(huán)與拋動(dòng)系統(tǒng)，最后自動(dòng)下料并熱風(fēng)干燥，確保AWG光波導(dǎo)表面達(dá)到亞微米級(jí)無(wú)殘留狀態(tài)。

四、系統(tǒng)配置：

循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)：保證清洗液的持續(xù)潔凈

工位4、5、6均配備獨(dú)立循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)。位于槽體下方或側(cè)面的儲(chǔ)液箱（子槽）用于儲(chǔ)存并初步沉降污染物，循環(huán)泵將清洗液從子槽抽出，通過(guò)高精度過(guò)濾器（過(guò)濾精度可達(dá)10μ）后重新泵回清洗槽（母槽），防止已剝離的污染物再次附著。

流體流向與溢流系統(tǒng)：

純水從第6工位注入，然后逆向依次流向第5、4、3、2工位，最終排出。這種 “逆流漂洗” 設(shè)計(jì)可以確保AWG器件在進(jìn)入潔凈度要求最高的工位時(shí)，使用的是最新鮮、最純凈的液體。

拋動(dòng)系統(tǒng)：增強(qiáng)清洗均勻性

機(jī)械臂夾持清洗籃在每個(gè)工位進(jìn)行規(guī)律的上下拋動(dòng)。這種物理擾動(dòng)不僅能增加液體對(duì)AWG表面的沖刷力，還能有效排出盲孔或縫隙中的氣泡，確保每個(gè)角落都能得到充分清洗。

自動(dòng)智能式機(jī)械手系統(tǒng)：保障工藝一致性

機(jī)械手負(fù)責(zé)在各工位間精確、平穩(wěn)地傳遞清洗籃。它通過(guò)可編程邏輯控制器（PLC）精確控制清洗時(shí)間、拋動(dòng)路徑等所有環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高度自動(dòng)化和一致性，同時(shí)避免了高溫液體和化學(xué)溶劑對(duì)操作人員的潛在風(fēng)險(xiǎn)。

綜上所述，威固特VGT-709FHA超聲波清洗機(jī)的先進(jìn)性并非源自單一技術(shù)，而是系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)的體現(xiàn)。它將多頻段超聲波發(fā)生器、高精度過(guò)濾循環(huán)、智能機(jī)械手和精巧的逆流式槽體結(jié)構(gòu)等一系列精密子系統(tǒng)，整合成一個(gè)穩(wěn)定、可靠、智能化的清洗平臺(tái)，精準(zhǔn)滿足了AWG器件高標(biāo)準(zhǔn)的清洗需求。